2022-02-26
选择真空泵机组需要注意些什么?
1.真空泵机组的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,真空干燥过程需要10mmHg的工作真空度,所选真空泵机组的极限真空度至少为2mmHg,最好达到1mmHg。泵的极限真空度通常高于真空设备的工作真空度。
2.正确选择真空泵机组的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围。例如,2BA系列水环真空泵机组的工作压力范围为760mmHg~25mmHg(绝压)。在此宽压范围内,泵速度随压力变化(见泵性能曲线),稳定工作压力范围为760~60mmHg。因此,泵的工作点应选择在此范围内,而不是在25~30mmHg下。
3.在工作压力下,真空泵机组应能排出真空设备过程中产生的全部气体量。
4.真空泵机组的正确组合。由于真空泵机组有选择性泵送,有时选择泵不能满足泵送要求,需要多个泵组合,以满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢的泵送速度很高,但不能泵送氦,三极溅射离子泵(或二极不对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的泵送速度,两者的结合将使真空装置获得更好的真空度。此外,一些真空泵机组不能在大气压下工作,需要预真空;一些真空泵机组的出口压力低于大气压,需要前泵,因此需要组合泵。
6.了解气体中是否含有冷凝蒸汽、颗粒粉尘、腐蚀性等。在选择真空泵机组时,需要了解气体成分,并为泵选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒和腐蚀性气体,则应考虑在泵的进气管上安装冷凝器、除尘器和其他辅助设备。
7.真空泵机组排放的油蒸气对环境有什么影响?如果环境不允许污染,可以选择无油真空泵机组,也可以将油蒸气排放到室外。
8.真空泵机组工作时产生的振动是否影响工艺和环境。工艺不允许的,应选用无振动泵或采取防振措施。
9.真空泵机组的价格。运行维护费用。
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