常见的真空泵机组测量方法有哪些

真空泵机组是指使用机械，物理，化学或物理化学方法从被抽出的容器中抽出空气以获得真空的装置或设备。一般而言，真空泵机组是一种使用各种方法来改善，产生和维持封闭空间中的真空的装置。根据真空泵机组的工作原理，真空泵机组基本上可以分为两类，即集气泵和输气泵。广泛用于冶金，化工，食品，电子涂料等行业。  

①热偶真空计

一种真空计，其原理是热电偶的电势与加热元件的温度有关，而元件的温度与热传导有关的气体。  

②电离真空计

由圆柱状收集器，栅格和位于栅格中心的细丝组成，圆柱状收集器在栅格外部。热阴极发射电子以使气体分子电离，并且离子被收集器收集，真空计根据收集的离子电流测量气压。  

③复合真空计

由热电偶真空计和热阴极电离真空计组成，测量范围为大气至10-5Pa。  

在阳极圆柱体的两端有一对阴极板。在外部磁场的作用下，在阳极圆柱体中形成Penning放电以产生离子。根据阴极板收集到的离子电流，用真空计的大小来测量气压。  

⑤电阻真空计

一种真空计，其原理是通过桥式电路测量加热元件的电阻与温度相关，而元件的温度与气体传导相关，从而测量真空度。  

电容薄膜真空计具有测量精度高，动态响应快，测量结果与气体成分，耐蚀性和耐气压冲击性等无关的一系列优点。越来越受到关注。它替代了汞压力表，机油压力表，电阻真空表，热电偶真空表，甚至部分替代了电离表。